中文摘要：

在快速发展的微流控芯片和微结构器件的科学研究和商业应用中，已有流量传感器仍然很难对微尺度管道中低流量气流的局域流速、边界滑移等进行精确测量，建立微尺度管道内气流多参量的传感方法和器件，具有极为重要的理论价值和实际意义。本项目提出利用Lamb波在薄膜-气体界面附近的消逝波和漏波对微尺度管道内低雷诺数下的气流进行多参量表征的方法利用低频下的消逝波穿透深度对微尺度管道的尺寸进行测量；利用中高频率下的消逝波对管道内气流局域流速进行矢量测量；利用漏波角度对固-气边界滑移敏感的特点，探讨微尺度管道内低雷诺数气流的边界滑移问题。通过微纳技术手段实现传感器制备、管道加工、芯片集成和封装等技术，构建高灵敏度和多参量为微尺度管道中低雷诺数气流检测系统，为微型喷嘴、微型燃料电池、微型热交换器等研究和应用领域提供一种新的高灵敏度检测手段。