中文摘要：

拟采用基于MEMS技术加工的微变形镜作为构成激光器谐振腔的一部分来对高功率DPL增益介质中的热畸变进行补偿。它主要是通过变形镜产生一个与热畸变相位相反的畸变，以便获得高光束质量、高功率的DPL 的激光输出，用以满足科学研究、光通信、医疗卫生、材料加工、激光核聚变等军事和民用领域的应用要求。研究内容由两部分构成1.对微变形镜的设计和加工技术进行研究，以获得最大变形量5μm，变形频率大于500Hz，

结论摘要：

热畸变效应是阻碍高功率固体激光器发展的重要因素之一。本项目采用基于MEMS技术加工的微变形镜作为构成激光器谐振腔的一部分来对高功率DPL增益介质中的热畸变进行补偿。它主要是通过变形镜产生一个与热畸变相位相反的畸变，以便获得高光束质量、高功率的DPL 的激光输出，用以满足科学研究、光通信、医疗卫生、材料加工、激光核聚变等军事和民用领域的应用要求。研究内容由两部分构成1.对基于MEMS技术的微变形反射镜进行了研究，建立了微变形镜的物理模型，对连续型变形反射镜的结构参数及加工工艺流程进行了设计，并对微变形镜的性能参数进行了分析仿真及相关测量；2.对微变形镜补偿DPL激光畸变技术进行研究，从理论上分析DPL激光畸变产生的原因，同时对采用微变形镜进行DPL激光补偿的可行性进行研究，并由此确定微变形镜补偿结构的具体实现形式（即采用外腔结构或内腔结构），在此基础上建立包含有探测器、微变形反射镜的自适应闭环实验平台模型，并进行实验测试和分析。实验结果表明，该内腔自适应光学系统能明显的改善激光器的输出功率和光束质量。