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基于射频单电子晶体管的微纳机械器件研究
  • 项目名称：基于射频单电子晶体管的微纳机械器件研究
  • 项目类别：青年科学基金项目
  • 批准号：60506005
  • 申请代码：F0402
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：2006-01-01-2008-12-31
  • 项目负责人：王丛舜
  • 负责人职称：副研究员
  • 依托单位：中国科学院微电子研究所
  • 批准年度：2005
中文摘要：

本项目拟利用射频单电子晶体管的量子效应所带来的超高灵敏度特性，开展基于射频单电子晶体管的微纳机械器件的研究工作，制备出SOI衬底上单片集成的射频单电子晶体管和微纳机械器件元件（主要是梁元件）。主要研究内容包括RF－SET及其检测电路的性能模拟和优化设计、基于SOI衬底工艺的MEMS/NEMS梁结构的优化设计、RF－SET和MEMS/NEMS元件的单片集成制备工艺研究、低温环境下MEMS/NEMS元件的超高灵敏度检测和分析，并探索进一步集成MEMS电感的可能性。本项目的工作属于纳米电子器件和微纳机械器件的交叉领域，国际上在这方面的研究刚刚起步，国内还未见报道。本项目的研究将取得RF－SET和MEMS/NEMS元件单片集成制备、低温环境测试等一批关键技术成果，为RF－SET应用于各类高灵敏度传感器奠定坚实的基础，形成我国自己的知识产权。

中文主题词： 射频单电子晶体管;微纳机械;电子束曝光
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《微细加工技术》
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