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同步辐射三维超微细加工技术(LIGA)基础研究
  • 项目名称：同步辐射三维超微细加工技术(LIGA)基础研究
  • 项目类别：青年科学基金项目
  • 批准号：59305047
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：田扬超
  • 依托单位：中国科学技术大学
  • 批准年度：1993
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