中文摘要：

动态波前误差的时间-空间特性要求自适应光学系统的各种参数需满足很高的要求，例如波前校正器的空间-时间特性要与波前误差变化的空间尺度和时间尺度相对应。MEMS变形镜作为自适应光学系统的波前校正器克服了传统变形镜结构复杂、制作费时、成本昂贵的缺点，成为小型波前校正器的研究热点。本课题拟通过对各种结构MEMS变形镜的时间-空间特性的研究，分析其在自适应光学系统中应用的适用性和限制因素。通过理论分析和实验检测来评价各种结构的MEMS变形镜的影响函数、波前校正效果、响应时间和谐振频率，提出Phase Wrapping方法增大MEMS变形镜的动态校正范围。利用MEMS变形镜构建自适应光学闭环实验系统，实现波前像差的静态和动态校正。本项目为MEMS变形镜在自适应光学中的应用奠定基础，从而促进MEMS变形镜和自适应光学的研究和发展。

结论摘要：

动态波前误差的时间-空间特性要求自适应光学系统的各种参数需满足很高的要求，如波前校正器的空间-时间特性要与波前误差变化的空间尺度和时间尺度相对应。MEMS变形镜作为自适应光学系统的波前校正器克服了传统变形镜结构复杂、制作费时、成本昂贵的缺点，成为小型波前校正器的研究热点。 本项目通过对各种结构MEMS变形镜的时间-空间特性的研究，分析其在自适应光学系统中应用的适用性和限制因素。通过理论分析、模拟仿真和实验检测来评价各种结构的MEMS变形镜的行程、响应时间、谐振频率、工作带宽和波前校正效果。分析了特定面形误差对波前畸变校正的影响。利用MEMS变形镜构建了初步自适应光学实验系统，实现了波前像差的校正。本项目为MEMS变形镜在自适应光学中的应用奠定基础，从而可促进MEMS变形镜和自适应光学的研究和发展。 发表各类中英文文章11篇，其中国际期刊4篇，国内期刊5篇，国际会议1篇，国内会议1篇；所有文章被SCI收录4篇，EI收录9篇，ISTP收录2篇；获得授权专利3项；出版专著一部；培养博士生1人，硕士生2人，目前在读博士生1人；圆满完成了项目各项要求。