中文摘要：

在该项目的实施过程中，由于离子注入造成对晶格损伤，从而使得发光效率不高。因此对该方法进行调整，采用在生长过程中进行掺杂的方式实现稀土元素的掺杂。为了进行初步研究，采用了二氧化硅基底。采用不同的生长条件来实现不同浓度的稀土元素的掺杂。并通过不同的退火条件来研究退火对于稀土元素发光效率的影响。研究表明，退火处理前的样品中Tb3+稀土离子掺杂浓度在1%以内发光效率并不具备规律性，且随着掺杂浓度改变有起伏。在掺杂浓度超出1%后，发光效率随着浓度增加而增加。在退火处理后，在掺杂1%以内，退火900度为最佳退火温度。在掺杂超出1%，则最佳退火温度降为800度。并且还做了相同退火温度下，最佳掺杂浓度的研究。300度退火的样品研磨后发光强度大于未研磨样品。600度退火的样品研磨后发光强度弱于未研磨样品，但方向性变强。