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微电子工业中低气压放电等离子体不稳性与控制的研究
  • 项目名称：微电子工业中低气压放电等离子体不稳性与控制的研究
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：69571006
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：马腾才
  • 依托单位：大连理工大学
  • 批准年度：1995
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