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　铟镓砷衬底上稀土氧化物高k栅介质薄膜的制备及物性研究
  • 项目名称：　铟镓砷衬底上稀土氧化物高k栅介质薄膜的制备及物性研究
  • 批准号：LY15A040001
  • 项目来源：2015年度浙江省自然科学基金项目
  • 研究期限：2015-04-
  • 项目负责人：方泽波
  • 依托单位：绍兴文理学院
  • 批准年度：2015
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 1
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期刊论文
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