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点载荷对应变硅晶体管载流子迁移率增强机理及结构优化设计
项目名称:点载荷对应变硅晶体管载流子迁移率增强机理及结构优化设计
项目类别:面上项目
批准号:11272049
项目来源:国家自然科学基金
研究期限:1900-01-01-1900-01-01
项目负责人:魏雪霞
依托单位:北京理工大学
批准年度:2012
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