中文摘要：

在分析借鉴现有材料表面改性技术和方法的基础上，提出一种新的铝及其合金表面改性技术利用中频交流空心阴极等离子体放电产生的高密度、高活性等离子体通过氧与铝及其合金表面反应形成高品质氧化铝膜层，进行铝及其合金材料表面耐磨、抗蚀改性。由于采用中频交流等离子体放电作为渗剂供给源解决因电极氧化造成的放电困难或因荷电效应引起打弧现象，同时基体材料加交流偏压同样避免因不导电氧化物层的形成所造成的表面荷电效应使膜层难以生长并引起局部放电损伤基体。探讨表面氧化物改性层形成的微观物理机制和耐磨、耐腐蚀性能提高的物理本质，研究改性层形成的热力学和动力学特性，工艺过程与渗层结构和性能的关系，寻求最佳处理条件，为发展经济有效的材料表面改性新技术提供研究基础和理论依据。

结论摘要：

在分析借鉴现有材料表面改性技术和方法的基础上，提出一种新的铝及其合金表面改性技术利用中频交流空心阴极等离子体放电产生高密度、高活性等离子体通过氧与铝及其合金表面反应形成高品质氧化铝膜层，进行铝及其合金材料表面耐磨、抗蚀改性。由于采用中频交流等离子体放电作为渗剂供给源解决因电极氧化造成放电困难或因电荷累计引起打弧现象，同时基体表面施加交流偏压同样避免因导电不良氧化物形成造成的荷电效应使膜层难以生长并引起局部放电损伤基体。探讨表面氧化物改性层形成的微观物理机制和磨损、腐蚀性能提高的物理本质，研究改性层形成的热力学和动力学条件，为发展经济有效的材料表面改性新技术提供借鉴。