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仿生微纳制造与应用研究
  • 项目名称：仿生微纳制造与应用研究
  • 项目类别：优秀青年科学基金项目
  • 批准号：51222508
  • 申请代码：E051204
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：2013-01-01-2015-12-31
  • 项目负责人：廖广兰
  • 负责人职称：教授
  • 依托单位：华中科技大学
  • 批准年度：2012
中文摘要：

申请人围绕微纳制造与测试开展研究，主持国家自然科学基金3项，取得了创新性成绩，获得了国内外同行关注与认可提出AFM与ICP、纳米线生长相结合的微纳结构制备方法，为开发复合制备工艺奠定了良好基础；建立了圆片键合表面特性模型，提出了硅硅低温直接键合的自发键合条件，可有效评估直接键合效果；提出优化的UV辅助湿化学法或等离子干法活化圆片低温键合工艺，实现了高强度直接键合；提出了基于硅模具的三维非晶合金微零件超塑性成形方法，成功制备出非晶合金微小型齿轮，技术成熟度等级被评为4级。发表论文80余篇，SCI论文26篇，含新发表SCI刊源论文3篇，申请人第一或通讯作者18篇，申请发明专利13项，授权3项。2009年参与国家级教学团队《机械学科测控课程群教学团队》，2011年入选教育部新世纪优秀人才支持计划。本项目拟研究仿生微纳结构的可控制备与应用探索，为推动仿生结构研究和拓展仿生技术应用提供新思路。

中文主题词： 微纳制造；微纳米复合结构；钙钛矿微能源器件；柔性电子；
结论摘要：

英文主题词micro/nano manufacturing；micro/nano hybrid structure；perovskite micro energy device；flexible electronics；

成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 137
  • 8
  • 4
  • 0
  • 0
期刊论文
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会议论文
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专利
一种集成碳纳米褶皱的三维碳微纳电极阵列结构制备方法
一种葡萄糖传感器的制备方法
一种基于点线对偶的图像匹配方法
一种碳微电极阵列结构的制备方法
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