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精密测量用光电传感器集成化研究
项目名称:精密测量用光电传感器集成化研究
项目类别:面上项目
批准号:59575080
项目来源:国家自然科学基金
研究期限:1900-01-01-1900-01-01
项目负责人:周肇飞
依托单位:四川大学
批准年度:1995
成果综合统计
成果类型
数量
期刊论文
会议论文
专利
获奖
著作
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期刊论文
光干涉法测量微机械零件变形的研究
周肇飞的项目
大尺寸光电位置测量的波前实时修正技术研究
期刊论文 8
高分辨率边缘判别技术
基于高精度绝对测距功能的激光跟踪仪系统
期刊论文 6
会议论文 1
超精密加工表面微观形貌无接触在线检测与表面质量控制
超级光洁表面轮廓测量研究