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全视场低偏振像差敏感度矢量成像分辨率增强及优化方法
项目名称:全视场低偏振像差敏感度矢量成像分辨率增强及优化方法
项目类别:面上项目
批准号:61675026
项目来源:国家自然科学基金
研究期限:1900-01-01-1900-01-01
项目负责人:李艳秋
依托单位:北京理工大学
批准年度:2016
成果综合统计
成果类型
数量
期刊论文
会议论文
专利
获奖
著作
1
0
0
0
0
期刊论文
组合倍率极紫外光刻物镜梯度膜设计
李艳秋的项目
高数值孔径(NA>1)浸没光刻成像中偏振效应研究
期刊论文 17
会议论文 12
新型多功能斯托克斯-穆勒成像偏振仪
期刊论文 1
光伏MEMS微能源技术基础研究
期刊论文 5
会议论文 4
专利 13
超大数值孔径光刻成像与图形保真技术研究
期刊论文 70
会议论文 20
专利 75