中文摘要：

本项目旨在运用属于现代科学技术范畴的先进制造系统、离散事件动态系统、生产调度与控制等理论，研究以半导体晶圆制造为典型代表的多重入制造的系统化调度方法，解决多重入制造生产调度问题中的问题分解方法和协调机制等关键问题。本项目建立了面向问题分解的系统化调度体系架构，根据多重入制造的系统结构和重入特征把复杂的生产调度问题分解为不同类型的子问题，在基于EOPN&RE过程模型的基础上重点研究面向多目标的生产调度方法，在实时通信机制和协调控制器的支持下，采用模糊认知图对子问题的计算过程和计算结果进行优化，最终得到有效和高效的调度方案。提出基于自治与协调机制的动态调度规则混合方法，根据生产过程实时信息进行在线排序优化，实现了面向随机事件干扰的实时处理机制。本项目的理论研究将丰富先进制造系统的生产调度与控制理论，研究成果对于提高我国半导体制造业生产管理水平具有重要意义。