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甚高频脉冲电负性等离子体的激光解吸诊断研究
项目名称:甚高频脉冲电负性等离子体的激光解吸诊断研究
项目类别:面上项目
批准号:11675117
项目来源:国家自然科学基金
研究期限:1900-01-01-1900-01-01
项目负责人:辛煜
依托单位:苏州大学
批准年度:2016
成果综合统计
成果类型
数量
期刊论文
会议论文
专利
获奖
著作
1
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0
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期刊论文
甚高频激发的容性耦合Ar+O2等离子体电负特性研究
辛煜的项目
甚高频阵列式容性耦合等离子体源的放电特性及均匀性研究
期刊论文 23
会议论文 5
著作 1
氟、氯基射频等离子体在多晶硅电池片表面制绒的应用研究
期刊论文 15
多线圈大面积感应耦合等离子体的耦合特性和均匀性研究
期刊论文 26