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纳米尺度CMOS工艺下的非接触测试关键技术的研究
  • 项目名称：纳米尺度CMOS工艺下的非接触测试关键技术的研究
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：61274034
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：虞小鹏
  • 依托单位：浙江大学
  • 批准年度：2012
虞小鹏的项目
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