中文摘要：

建立了复合热释电薄膜热传导模型，分析了各功能膜层对响应特性的影响。采用MOD法制备了性能优良、工艺重复性好的铅基钙钛矿结构热释电薄膜。采用溶胶-凝胶法制备了满足使用要求的二氧化硅绝热膜。采用光刻-腐蚀工艺实现了热释电薄膜的图形制备，采用光刻-剥离工艺成功地解决了铂和金电极的刻蚀问题。通过红外吸收层/上电极/热释电膜/下电极/过渡膜/多孔膜/硅基底的集成，制备出不同单元面积的2?、2?6、2?2和2?4元等一系列复合热释电薄膜红外探测器线阵。研究了二氧化硅绝热膜、图形化工艺，以及极化条件对敏感单元性能的影响。对探测器的阻抗变换以及前置放大电路进行了设计，利用外贴阻抗变换电路技术制备了单元探测器。探测器的星探测率达9.3?0（7）cmHz（1/2）/W，这一指标接近了1?0（8）cmHz（1/2）/W的实用水平。