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集成化高性能微纳机电射频谐振器件研究
  • 项目名称：集成化高性能微纳机电射频谐振器件研究
  • 项目类别：重点项目
  • 批准号：61234007
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：杨晋玲
  • 依托单位：中国科学院半导体研究所
  • 批准年度：2012
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
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期刊论文
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