中文摘要：

研究光学微腔谐振器具有很高的科学意义，而且在光通信、非线性光学、传感等领域有很好的应用前景，是国际国内研究的热点。本项目将利用微碟微腔器件具有结构简单、尺寸小、功耗低、适合集成等优点，进行基于半导体微碟结构光开关的研究，利用微碟微腔结构对折射率变化非常敏感的特点，采用载流子注入效应，研制低功耗、低损耗、宽可调范围的光开关；研制过程中还将就微碟与输入输出波导的耦合进行研究，在保证器件性能的同时，简化实验流程，降低对工艺条件的要求，以利于大规模生产。本项目是半导体微碟、微环类微腔器件的应用基础研究，将为我国相关科学研究与集成低功耗光学器件制造作出贡献。