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　半导体制造过程基于自适应问题分解和数据驱动的闭环动态调度方法
  • 项目名称：　半导体制造过程基于自适应问题分解和数据驱动的闭环动态调度方法
  • 批准号：4162046
  • 项目来源：2016年度北京市自然科学基金项目
  • 研究期限：2016-01-
  • 项目负责人：曹政才
  • 依托单位：北京化工大学
  • 批准年度：2016
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
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  • 著作
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期刊论文
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