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中文摘要：
随着外延材料质量的提高和湿法氧化等器件工艺技术的进展，高功率的垂直腔面发射激光器（VCSEL）迅速发展起来。高功率垂直腔面发射激光器具有光束质量高、没有COD现象、易于耦合、易于光电集成的优点，可以广泛的应用于激光泵浦、激光雷达、激光医疗、背光照明、空间激光通讯等诸多领域。其自身的发展方向主要是多波长、高功率密度、高光束质量、高转换效率，同时也将与列阵技术、外腔技术、腔内倍频技术、纳米微细结构加工技术相结合，不仅可大幅度提高了输出功率，而且还可以改变输出波长和输出光束特性。目前，高功率VCSEL的发展瓶颈在于其转换效率仍较为低下，其迫切需要发展的技术主要包括模拟仿真技术、高质量外延生长技术、器件工艺技术等。
结论摘要：
英文主题词High power; VCSEL; Array; Nano-structure
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