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单晶硅表面原子层状去除的行为与机理
  • 项目名称:单晶硅表面原子层状去除的行为与机理
  • 项目类别:面上项目
  • 批准号:51375409
  • 项目来源:国家自然科学基金
  • 研究期限:1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人:钱林茂
  • 依托单位:西南交通大学
  • 批准年度:2013

成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 2
  • 0
  • 0
  • 0
  • 0
钱林茂的项目
期刊论文 22 会议论文 1 获奖 12 著作 1
期刊论文 47 会议论文 13 获奖 1 专利 4
期刊论文 3 会议论文 1
期刊论文 30 会议论文 1 获奖 8 专利 4 著作 2