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单晶硅表面原子层状去除的行为与机理
项目名称:单晶硅表面原子层状去除的行为与机理
项目类别:面上项目
批准号:51375409
项目来源:国家自然科学基金
研究期限:1900-01-01-1900-01-01
项目负责人:钱林茂
依托单位:西南交通大学
批准年度:2013
成果综合统计
成果类型
数量
期刊论文
会议论文
专利
获奖
著作
2
0
0
0
0
期刊论文
基于摩擦诱导选择性刻蚀原理的单晶硅表面大面积织构加工
一种快速检测单晶硅亚表面损伤层厚度的方法
钱林茂的项目
摩擦诱导构造纳米凸结构的原理及应用研究
期刊论文 22
会议论文 1
获奖 12
著作 1
微/纳摩擦学
期刊论文 47
会议论文 13
获奖 1
专利 4
NSFC 机械工程学科 2014年度青年/地区科学基金项目启动会
低损伤摩擦诱导纳米加工的原理及应用研究
期刊论文 3
纳动的运行行为和损伤机理研究
期刊论文 3
会议论文 1
镍钛合金应力诱发相变下的微磨损机理研究
期刊论文 12
会议论文 2
单晶硅表面摩擦诱导化学磨损的行为、机理及控制研究
期刊论文 30
会议论文 1
获奖 8
专利 4
著作 2