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高效液相外延生长提纯冶金硅的机理及强化机制研究
项目名称:高效液相外延生长提纯冶金硅的机理及强化机制研究
项目类别:面上项目
批准号:51574057
项目来源:国家自然科学基金
研究期限:1900-01-01-1900-01-01
项目负责人:李佳艳
依托单位:大连理工大学
批准年度:2015
成果综合统计
成果类型
数量
期刊论文
会议论文
专利
获奖
著作
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期刊论文
金刚石线锯切割多晶硅片表面制绒工艺研究
李佳艳的项目
Si-Al-Zn三元合金凝固行为对硅中杂质B分凝特性的影响
期刊论文 23
会议论文 3
专利 1