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三维紫外激光LIGA微加工中的壁直技术
项目名称:三维紫外激光LIGA微加工中的壁直技术
项目类别:面上项目
批准号:50575112
项目来源:国家自然科学基金
研究期限:1900-01-01-1900-01-01
项目负责人:程曜
依托单位:清华大学
批准年度:2005
程曜的项目
极限穆斯堡尔效应研究
期刊论文 1