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多元复合阵列真空微电子压力传感器研究
  • 项目名称：多元复合阵列真空微电子压力传感器研究
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：69674030
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：夏善红
  • 依托单位：中国科学院电子学研究所
  • 批准年度：1996
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