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发展下一代微电机械系统用新型纳米晶和非晶薄膜材料
  • 项目名称:发展下一代微电机械系统用新型纳米晶和非晶薄膜材料
  • 项目类别:国际(地区)合作与交流项目
  • 批准号:50811120106
  • 项目来源:国家自然科学基金
  • 研究期限:1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人:张广平
  • 依托单位:中国科学院金属研究所
  • 批准年度:2008
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