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金属-电介质多层复合结构超分辨近场成像光刻特性研究
项目名称: 金属-电介质多层复合结构超分辨近场成像光刻特性研究
批准号:11040606Q26
项目来源:2011年度安徽省青年科学基金项目
研究期限:2010-12-
项目负责人:胡继刚
依托单位:合肥工业大学
批准年度:2011
成果综合统计
成果类型
数量
期刊论文
会议论文
专利
获奖
著作
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期刊论文
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胡继刚的项目