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 金属-电介质多层复合结构超分辨近场成像光刻特性研究
  • 项目名称: 金属-电介质多层复合结构超分辨近场成像光刻特性研究
  • 批准号:11040606Q26
  • 项目来源:2011年度安徽省青年科学基金项目
  • 研究期限:2010-12-
  • 项目负责人:胡继刚
  • 依托单位:合肥工业大学
  • 批准年度:2011

成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 2
  • 0
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