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常压脉冲协同射频辉光等离子体放电过程及其薄膜聚合沉积研究
项目名称:常压脉冲协同射频辉光等离子体放电过程及其薄膜聚合沉积研究
项目类别:面上项目
批准号:11475043
项目来源:国家自然科学基金
研究期限:1900-01-01-1900-01-01
项目负责人:郭颖
依托单位:东华大学
批准年度:2014
成果综合统计
成果类型
数量
期刊论文
会议论文
专利
获奖
著作
2
0
0
0
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期刊论文
常压射频放电占空比对SiO_x薄膜形貌和成分的影响
脉冲调制对大气压射频辉光放电稳定性的影响
郭颖的项目
高密度低温二次电子辅助脉冲射频等离子体及柔性电子基板表面改性
期刊论文 10
会议论文 1