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六维微位移、力全反馈纳米压印装备的关键技术与应用研究
项目名称: 六维微位移、力全反馈纳米压印装备的关键技术与应用研究
批准号:2006AA04Z334
项目来源:“十一五”国家高技术研究发展计划(863计划)先进制造技术领域2006年度专题课题
研究期限:2006-11-
项目负责人:刘品宽
依托单位:上海交通大学
批准年度:2006
成果综合统计
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会议论文
专利
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著作
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期刊论文
六维微位移、力全反馈纳米压印装备的关键技术与应用研究
刘品宽的项目
基于近场超声悬浮原理的非接触输送与精密定位
期刊论文 6
会议论文 1
纳米级精度定位系统与环境耦合的微扰动控制与机理分析
期刊论文 3
会议论文 1