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双色双光子激光快速直写大规模特征尺寸<50nm纳米结构阵列关键技术研究
  • 项目名称：双色双光子激光快速直写大规模特征尺寸<50nm纳米结构阵列关键技术研究
  • 项目类别：青年科学基金项目
  • 批准号：11504294
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：张琛
  • 依托单位：西北大学
  • 批准年度：2015
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 2
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期刊论文
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