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量子点、量子线结构纳米衍射光学元件探索
  • 项目名称:量子点、量子线结构纳米衍射光学元件探索
  • 项目类别:重大研究计划
  • 批准号:90101002
  • 申请代码:F0401
  • 项目来源:国家自然科学基金
  • 研究期限:2002-01-01-2004-12-01
  • 项目负责人:刘峰奇
  • 负责人职称:研究员
  • 依托单位:中国科学院半导体研究所
  • 批准年度:2001
中文摘要:

将应变自组装技术与光刻腐蚀技术相结合,在非平面衬底上探索选择性外延生长工艺。利用不同晶面生长速率的差别、外延层应变分布的变化、成核特点的不同对量子点、量子线的大小、形状及分布进行调制,制备有序性较高的量子点、量子线。将量子点、量子线的空间有序性和周期性图形衬底有效结合起来,探索制备纳米衍射光学元件。

结论摘要:

英文主题词quantum wire; nano-grating, diffraction


成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 7
  • 0
  • 0
  • 0
  • 0
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