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17届国际等离子体化学会议
  • 项目名称：17届国际等离子体化学会议
  • 项目类别：国际(地区)合作与交流项目
  • 批准号：10510201126
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：蒲以康
  • 依托单位：清华大学
  • 批准年度：2005
蒲以康的项目
等离子体物理考察
第12届国际等离子体物理会议
稀有气体放电中电子碰撞速率系数的实验确定
纳米材料制备过程的等离子体参数控制研究
等离子体环境与GaN晶膜生长速度的关系
低温等离子体辅助制备纳电子器件单元机理的研究
期刊论文 64 会议论文 55 著作 3
一种等离子体刻蚀工艺中的终点检测的新概念和技术
等离子体环境与GaN 生长速度的关系
纳米材料制备过程的等离子体参数控制研究
等离子体与器壁表面相互作用的基础研究
期刊论文 1
第一届中韩低温等离子体物理和应用研讨会
高频电负性容性耦合等离子体的研究
期刊论文 15 会议论文 1
纳米材料制备过程的等离子体参数控制研究
一种等离子体刻蚀工艺中的终点检测的新概念和技术
期刊论文 1
高密度低温等离子体器壁条件与活性粒子的关系