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中文摘要：
近年来，测量材料对入射偏振软X射线强度和偏振状态的变化已成为越来越多同步辐射中心研究的热点，它的深入和发展开创了一些新的实验方法。要实现这些定量测量，必须了解入射软X射线的偏振状态，偏振光学元件是实现偏振状态测量的前提。反射式和透射式多层膜是最重要的软X射线偏振元件，反射式元件只有起偏和检偏作用，且在研究过程中与普通多层膜没有太大差别。透射式元件除起偏和检偏的作用外，还具有相移功能。到目前为止，国内同步辐射装置上还没有进行软X射线偏振测量研究。因此，研究软X射线透射式多层膜偏振元件必将为我国开展相应波段的偏振光学研究，测量同步辐射偏振特性及其的应用具有重要科学意义和应用价值。本项目开展软X射线透射式多层膜偏振光学元件优化设计方法的研究，探寻最大偏振率与透过率之间的合理评价标准，找到相移片最大相移的条件，研究制作方法，摸索合理的工艺参数，探讨测试问题，为制作实用化奠定技术基础。
结论摘要：
软X射线偏振测量开创了许多新的同步辐射实验方法，如软X射线磁圆二色测量、软X射线元素分辨法拉第效应和克尔效应测量、自旋分辨的光电子和俄歇电子谱测量、磁畴显微镜、偏振散射测量以及软X射线偏振测量术等，这些方法为生物、医学、信息、材料、物理与化学等学科提供了强有力的研究工具。要实现这些定量测量，必须了解入射软X 射线的偏振状态，偏振光学元件是实现偏振状态测量的前提。反射式和透射式多层膜是最重要的软X 射线偏振元件，反射式元件只有起偏和检偏作用，透射式元件除起偏和检偏的作用外，还具有相移功能。国内由于没有对软X 射线多层膜偏振元件进行系统研究，致使无法在同步辐射装置上开展该波段的偏振测量。本项目开展软X 射线透射式多层膜偏振光学元件优化设计方法的研究，探讨了其设计原理和方法，成功制备了Mo/Y、Mo/Si透射式周期多层膜起偏器和Mo/Si宽带相移片，利用Mo/Si宽带反射式检偏器与宽带透射式相移片，首次完成了BESSY同步辐射UE56/1-PGM光束线的宽带全偏振分析，在12.7～15.5nm波段测试结果与光源理论特性一致。因此，软X 射线透射式多层膜偏振元件的研制为我国开展相应波段的偏振
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