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适用于SOC的声热力微传感器系统基础研究
  • 项目名称：适用于SOC的声热力微传感器系统基础研究
  • 项目类别：重大研究计划
  • 批准号：90207003
  • 申请代码：A040507
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：2003-01-01-2006-12-31
  • 项目负责人：田静
  • 负责人职称：研究员
  • 依托单位：中国科学院声学研究所
  • 批准年度：2002
中文摘要：

以硅微电容传声器、微加热式传感器和压电微传感器为对象，研究适用于SOC的声-热-力微传感系统的基础，包括在微尺度下，系统参数尺度效应、微动力学模型；声、热、力与电参数的相互作用、耦合和换能；声、热、力参数的测试和控制方法以及微传感器件和阵列中声与振动，声与电，热与流等相互耦合和解耦等，它将为这些微传感系统提供理论基础。

中文主题词： 微传感系统；芯片系统
英文摘要：

Microsensor System；System on C

英文主题词： Microsensor System；System on C
结论摘要：

中国科学院声学研究所和大连理工大学围绕研究目标，进行了硅微电容传声器、硅微压电传声器/水听器、集成无线接入系统、微加热式微气压传感器、压电薄膜微小力传感器、微流热力传声器、电容压力微传感器工作原理分析和压电换能器产生的弹性波场的严格解和近似解等几个方面的研究工作，解决了相关的理论分析、方案设计、工艺制备、封装和性能测试等关键问题，研制成功硅微电容传声器、硅微压电传声器/水听器、微加热式微气压传感器、压电薄膜微小力传感器等多种传感器的样品和集成无线接入系统样机，共发表了学术论文68篇，申请了发明专利15项、实用新型专利4项。

成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 75
  • 11
  • 0
  • 0
  • 0
期刊论文
水热法制备压电双晶片的研究
Effect of thickness on microst
基于MEMS的硅基PZT薄膜微力传感
ZnO:Li压电薄膜制备及性能研究
硅微电容传声器的防粘连结构
防粘连硅微电容传声器
圆形振动膜硅微电容传声器
Investigation of a Microcalori
Theoretical analysis of the se
薄膜电子隧穿几率的数值计算方法
硅微ZnO压电薄膜传声器的研制
基于非线性PCA的微气体传感器阵
改进的溶胶凝胶法制备不同厚度的
硅基PZT薄膜型悬臂的特性及其在
基于虚拟仪器的铁电薄膜电滞回线
压电传感器材料的铁电特性研究
PZT薄膜的制备及其与MEMS工艺的
基于PZT薄膜的集成式微悬臂梁结
A micro-Pirani gauge based on
Numerical Analysis of Capaciti
微加热式微气压传感器测试电路的
微热板式气压传感器结构设计与热
硅微传声器的电声测试与灵敏度分
微桥量热计测量铝薄膜热容
活塞式硅微电容传声器设计
衬底对溶胶－凝胶法准备ZnO压电
基于硅基PZT微力传感器标定系统
基于MATLAB的微气压传感器测试系
微加热板式半导体微气压传感器的
热线式横风传感器的研究
Measurement on the actuating a
微气体传感器的稳定性测试研究
Properties analysis of Mn-dope
A Genetic Algorithm for Simult
气体传感器阵列信号的盲分离研究
微热板式低气压传感器的研制
基于硅微加工工艺的微热板的传热
In-Plane P-SV Waves from a Pie
圆形振动膜ZnO压电硅微传声器的
硅微传声器研究进展
基于PZT薄膜的硅微压电传声器的
基于聚酰亚胺振动膜的硅微电容式
用于薄膜热容测量的微型量热计
基于SOC的微气压传感器研究
Antiplane shear waves from a p
Preliminary study of calibrati
Evaluation of momentum conserv
Piezoelectric microcantilevers
恒温式微热板电阻真空传感器
PT种子层对微力传感器性能的影响
PT/PZT/PT薄膜微力传感器
圆形振动膜ZnO压电微传声器的研制
PZT薄膜的制备及其与MEMS工艺的兼容性
A Genetic Algorithm for Simultaneous Determination of Thin Films Thermal Transport Properties and Contact Resistance
SnO2（110）表面电子结构的第一性原理
基于MEMS的硅基PZT薄膜微力传感芯片
单片集成CMOS电阻真空传感器
嵌入式无线传感器网络研究
改进的溶胶-凝胶法制备不同厚度的PZT薄膜
基于虚拟仪器的铁电薄膜电滞回线测量系统设计
硅基PZT薄膜微型悬臂的特性及其在微型传感器执行器上的应用
基于MATLAB的微气压传感器测试系统的气压控制仿真
对痕量甲醛气体敏感的SnO_2-NiO纳米材料的X射线光电子谱研究
铁电薄膜电滞回线测量的快速数值补偿方法研究
MEMS-based ZnO Piezoelectric Tactile Sensor for Minimally Invasive Surgery
基于MC35i的M2M终端设计与研究
会议论文
Study on piezoelectric self-se
A New Type of Silicon Micro-Mi
Measurement of longitudinal pi
Residual stress effect and con
Fabrication and Characterizati
MEMS-based ZnO piezoelectric t
Study on Contact Microforce Me
微桥热传感器测微小气压的研究
Thermal analysis of a constant
Effect of Cu Doping on Stabili
Investigation on thermal cross
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