中文摘要：

非接触式传输在半导体制造领域有着重要的作用。本课题应用于基于近场超声悬浮原理的新型非接触式晶圆输送和精密定位系统。建立了近场超声悬浮作用下，挤压气膜的数学模型，确定了超声辐射压与悬浮高度，振动频率等参数之间的映射关系。通过有限元分析与仿真，完成压电振子的机构设计修改、制作与实验测试以及近场超声悬浮力测试平台的设计与搭建。建立了针对动态对流扩散模型的高阶求解格式，并通过与实验测试结果的对比，在理论推导的基础上通过获得挤压气膜稳定形成时，超声振子关键技术参数，以保证近场超声悬浮时足够的悬浮力，使悬浮机构具有高的承载力和稳定性，形成面向近场超声悬浮压电振子建模、仿真与设计方法。在此基础上，需要对系统理论模型建立和机理的深入探讨，以提高所建模型精度和指导工程设计。