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中文摘要：
稀磁半导体材料（DMS）由于其在自旋电子器件中的潜在应用而备受关注。利用磁控溅射技术在硅、白宝石及铌酸锂衬底上制备基于ZnO 基的外延稀磁半导体薄膜，利用X 射线衍射、X 射线光电子能谱、Raman 光谱、电子显微术和SQUID、PPMS 等来表征和分析它们的结构与性能。优化工艺条件，精确控制不同过渡金属离子掺杂和共掺杂，调节薄膜的磁性、输运和光学带隙，制备了多种具有室温铁磁性的薄膜。在充分的结构表征和性能测试的基础上，揭示此类薄膜中磁性起源和与自旋相关的输运特性，并在此基础上开展基于DMS 的超晶格材料的研究工作。在本项目支持下，还探讨了p-型ZnO生长和表征问题。
结论摘要：
英文主题词ZnO; DMS; Ferromagnetism; Doping; Superlattice
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