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大行程超精密工作台测量系统自标定方法研究
项目名称:大行程超精密工作台测量系统自标定方法研究
项目类别:面上项目
批准号:51475262
项目来源:国家自然科学基金
研究期限:1900-01-01-1900-01-01
项目负责人:胡楚雄
依托单位:清华大学
批准年度:2014
成果综合统计
成果类型
数量
期刊论文
会议论文
专利
获奖
著作
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期刊论文
干涉条纹相位锁定系统分析及其控制
胡楚雄的项目
磁浮平面电机精密LVRC运动控制理论与技术研究
全局任务坐标系下的平面电机快速大曲率轮廓运动控制研究
期刊论文 12
会议论文 3