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基于MEMS技术的新型电容薄膜真空计研制
  • 项目名称:基于MEMS技术的新型电容薄膜真空计研制
  • 项目类别:国家重大科研仪器研制项目
  • 批准号:61627805
  • 项目来源:国家自然科学基金
  • 研究期限:1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人:李得天
  • 依托单位:兰州空间技术物理研究所
  • 批准年度:2016
李得天的项目
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