中文摘要：

反钙钛矿结构的Mn3XN材料,特别是Mn3CuN和Mn3NiN两类材料具有丰富的物理特性，如磁致伸缩、近零电阻温度系数、磁阻效应等，其电、磁输运和热膨胀性质紧密相关，彼此影响。相应的二维Mn3XN薄膜材料的物理性能同样值得期待。本课题拟在前期研究的基础上，利用磁控溅射方法，通过选择不同的制备参数和后退火处理制备出具有单一反钙钛矿结构的Mn3XN(X=Cu,Ni)系列薄膜，探讨其磁相变、电输运特性的变化规律。另外，Cu、Ni两元素的互掺杂可以进一步诱导这种变化，实现对其磁相变和电输运性质的调控。这使研究具有单一反钙钛矿结构的Mn3XN(X=Cu,Ni)薄膜其制备工艺、微观成分与性能的关联关系，实现Mn3XN材料的可控制备成为可能。同时对该类材料的特殊物性和产生机理更加系统深入地认识，为将来开发具有多种功能特性的Mn3XN薄膜奠定了实验基础和理论依据。