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第六届国际结技术研讨会
  • 项目名称：第六届国际结技术研讨会
  • 项目类别：国际(地区)合作与交流项目
  • 批准号：60610306404
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：屈新萍
  • 依托单位：复旦大学
  • 批准年度：2006
屈新萍的项目
金属诱导非晶硅－锗－碳薄膜低温横向结晶技术
面向下一代新型互连导体材料的硅化物纳米线研究
　新型纳米压印技术的开发和应用
期刊论文 1
原子层淀积新型Cu互连扩散阻挡层研究
期刊论文 10 会议论文 7