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中文摘要：
针对声表面波（SAW）高温压力传感器研究中发现的温度交叉敏感严重、传统补偿方法效果不理想、输出信号稳定性差、缺乏有效分析和设计理论等问题，本项目以弹性力学的有限变形理论、偏载扰动理论和有限元分析方法为基础，研究了声表面波压力、温度交叉敏感的非线性耦合模型，提出了SAW压力传感器敏感基片优化选择的基本准则。设计了悬臂梁式和纵横应力比可调膜片式两种受力结构，实现了在200℃和500℃条件下的温度漂移补偿和温度、压力组合测量，研究开发了信号检测电路和处理算法。所设计传感器的灵敏度达到40KHz/bar,达到国外文献报道的最高水平。
结论摘要：
英文主题词SAW；High Temperature;Pressure Sensor; Temperature compensation
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