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同步辐射研究铪基高k介质/InGaAs界面特性及元素扩散调控
项目名称:同步辐射研究铪基高k介质/InGaAs界面特性及元素扩散调控
项目类别:联合基金项目
批准号:U1632121
研究期限:1900-01-01-1900-01-01
项目负责人:卢红亮
依托单位:复旦大学
批准年度:2016
卢红亮的项目
高K栅介质/III-V族半导体界面的原位调控及性能研究
期刊论文 18
专利 3
原子层尺度可控的InGaZnO薄膜和异质结构制备及其应用研究