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　基于表面工艺的交错振动式微型电场传感器及其系统
  • 项目名称：　基于表面工艺的交错振动式微型电场传感器及其系统
  • 批准号：2006AA04Z347
  • 项目来源：“十一五”国家高技术研究发展计划(863计划)先进制造技术领域2006年度专题课题
  • 研究期限：2006-11-
  • 项目负责人：陈德勇
  • 依托单位：中国科学院电子学研究所
  • 批准年度：2006
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 1
  • 0
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期刊论文
新型推挽激励的谐振式微机械静电场传感器
陈德勇的项目
非侵入式无线无源MEMS眼压传感器研究
期刊论文 1
基于MEMS技术的电化学地震检波器研究
期刊论文 10 会议论文 4 专利 4
基于昆虫毛状感触器的仿生微气流传感器研究
期刊论文 11