提出了超精密工作台的主动控制气磁混合支撑技术,通过电磁力实现主动控制工作台正压单一平面静压气膜支撑,能有效地抑制气浮自激振动,使动静态刚度进一步提高,工作台运动分辨率可以提高到与传感器噪声相当的水平,且工作台的姿态角和垂直方向位移可以进行纳米分辨率的闭环调整。与现有的非接触支撑技术相比,该技术不改变气浮支撑方式的总体结构,在发热、结构形式和可靠性等方面具有气浮的优点,是一种实现更高精度超精密工作台的新技术研究。研究内容有气磁混合支撑的刚度特性研究和主动控制设计,基于在线辨识的气浮系统建模技术,自激振动的主动控制研究等,形成具有实用价值的气磁混合支撑研发技术和实验原型。超精密工作台是极限制造装备的关键技术,本研究提出了一项原创性的超精密工作台瓶颈技术,理论上综合性能优良,可望使我国的超精密工作台技术达到国际领先水平,具有广泛的应用前景和巨大的社会经济效益。
研究了超精密工作台的主动控制气磁混合支承技术,通过电磁力实现主动控制工作台正压单一平面静压气膜支承,有效地抑制了气浮自激振动,动静态刚度进一步提高,工作台运动分辨率可以提高到与传感器噪声相当的水平,而且工作台的姿态角和垂直方向位移可以进行纳米分辨率的闭环调整。与现有的非接触支承技术相比,该技术不改变气浮支承方式的总体结构,在发热、结构形式和可靠性等方面具有气浮的优点,是一种实现更高精度超精密工作台的新技术研究。研究内容有气磁混合支承的刚度特性研究和主动控制设计,气浮动特性及自激振动的辨识技术,自激振动的主动控制研究等,形成具有实用价值的气磁混合支承研发技术和实验原型。超精密工作台是极限制造装备的关键技术,本研究针对超精密工作台瓶颈技术,实现了超精密工作台主动控制气磁混合支承,本课题同时开展了直线电机直接驱动技术,新原理超精密电涡流传感器技术,以及基于薄膜技术的干润滑摩擦磨损特性分析仿真及控制技术的研究,具有广泛的应用前景和巨大的社会经济效益。