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ULSI硅片缺陷控制与利用机理和过渡过程
  • 项目名称：ULSI硅片缺陷控制与利用机理和过渡过程
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：68876105
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：徐岳生
  • 依托单位：河北工业大学
  • 批准年度：1988
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