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中文摘要：
运用数理统计方法，对微尺寸段内的微加工误差进行了分析，获得了描述微构件加工误差的图表，初步建立了微制造精度的数学模型。对微孔的光学特性进行了理论分析和实验验证，建立了微孔的透光特性与尺寸的关系，初步实现了用微功能精度与微制造精度的比值（协调因子）来选择材料和加工方法。研究了微构件误差的测量方法和实现条件以及参数化评定理论与方法。开发了微构件的CAD设计软件。共发表学术论文8篇，其中有2篇被ISTP检索。培养博士生2名、硕士生3名。本项研究成果为微尺寸公差标准的制订奠定了理论和实验基础，具有很好的应用前景。
结论摘要：
英文主题词micro component,precision theory,design method
成果综合统计
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