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超精密平面半固着CMP抛光关键技术与装备的产业化应用
  • 颁奖组织：中国机械工业联合会、中国机械工程学会
  • 类别：2012年度中国机械工业科学技术奖
  • 级别：二等
  • 所属机构名称：湖南大学
  • 成果类型：获奖
  • 相关项目：薄形轴对称非球曲面零件的高效超精密加工新方法研究
作者： 袁巨龙|陈 明|许世雄|吕冰海|邓乾发|赵 萍|彭关清|赵文宏|熊万里|陆惠宗|
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