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MEMS关键设计与制造技术及应用
  • 颁奖组织：上海市
  • 类别：2006年上海市科技发明二等奖（上海微系统所为第一单位）
  • 级别：二等奖
  • 所属机构名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 成果类型：获奖
  • 相关项目：驱动和检测具有滑膜阻尼的新型音叉式微陀螺研究
作者： 王跃林，鲍敏杭，李昕欣，杨恒，
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