位置：成果数据库 > 获奖 > 获奖详情页
微纳结构“自上而下”制备核心技术与集成应用
  • 颁奖组织：中共北京市委 北京市人民政府
  • 类别：2010年北京市科技进步奖
  • 级别：( 一等奖) (排名第1)
  • 所属机构名称：中国科学院微电子研究所
  • 成果类型：获奖
  • 相关项目：纳米加工与新型半导体器件研究
作者： 刘明|沈俊然|王 琴|李 友|叶甜春|段小楠|徐 佳|谢常青|陈宝钦|卞福良|龙世兵|田 炜|商立伟|朱效立|姬濯宇|
同获奖项目
纳米加工与新型半导体器件研究
期刊论文 101 会议论文 13 获奖 2 专利 121
同项目获奖
微纳结构“自上而下”制备核心技术与集成应用