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宽幅智能SLM激光光刻系统
  • 颁奖组织：中华全国归国华侨联合会
  • 类别：中华全国归国华侨联合会,2007.05,中国侨联 “自主创新
  • 所属机构名称：苏州大学
  • 成果类型：获奖
  • 相关项目：非周期性位相调制的衍射光栅的光场分布与特性的研究
作者： 陈林森
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